1. 本选题研究的目的及意义
微型机电系统（MEMS）作为一项颠覆性技术，近年来在医疗、通信、航空航天等领域展现出巨大的应用前景。
微尺寸静电马达，作为MEMS领域的核心执行器件之一，以其结构简单、易于制造、低功耗、低噪音等优势，受到学术界和工业界的广泛关注。
本选题旨在深入研究微尺寸静电马达的工作原理、设计方法、加工工艺以及性能测试，以期为高性能微型机电系统的开发提供理论基础和技术支撑。
2. 本选题国内外研究状况综述
微尺寸静电马达的研究始于20世纪80年代末，经过几十年的发展，已取得了显著的成果。
1. 国内研究现状
近年来，国内学者在微尺寸静电马达领域取得了一系列重要进展。
3. 本选题研究的主要内容及写作提纲
本选题将重点研究微尺寸静电马达的工作原理、设计方法、加工工艺以及性能测试，并完成一篇完整的学术论文。
1. 主要内容
1.深入研究静电驱动原理，分析微尺寸静电马达的工作机制，比较不同类型静电马达的优缺点，为后续设计奠定理论基础。
4. 研究的方法与步骤
本研究将采用理论分析、数值模拟和实验验证相结合的研究方法，具体步骤如下：1.文献调研：查阅国内外相关文献，了解微尺寸静电马达的研究现状、发展趋势以及关键技术，为研究方向的确定和方案的设计提供参考依据。
2.理论分析：深入学习静电驱动原理，建立微尺寸静电马达的数学模型，推导其力学特性和运动方程，为结构设计和性能优化提供理论指导。
3.数值模拟：利用有限元分析软件对设计的微尺寸静电马达进行仿真分析，优化结构参数，预测其性能指标，并为工艺参数的确定提供参考。
5. 研究的创新点
本研究的创新点主要体现在以下几个方面：1.针对现有微尺寸静电马达存在的驱动电压高、输出力矩小等问题，提出一种新型的结构设计方案，并通过仿真分析和实验验证其性能优势。
2.探索新的微纳加工工艺，优化工艺参数，提高器件的加工精度和效率，并尝试采用新型材料，改善器件的性能。
3.建立完善的性能测试平台，对微尺寸静电马达的关键性能指标进行测试和评估，并分析不同因素对性能的影响，为器件的优化设计提供参考依据。
6. 计划与进度安排
第一阶段 （2024.12~2024.1）确认选题，了解毕业论文的相关步骤。
第二阶段（2024.1~2024.2）查询阅读相关文献，列出提纲
第三阶段（2024.2~2024.3）查询资料，学习相关论文
7. 参考文献（20个中文5个英文）
[1] 张大钧,叶雄英.微型机电系统[J].机械工程学报,2018,54(17):1-16.
[2] 孟永刚,王立鼎,张博.静电驱动微机械谐振器研究进展[J].压电与声光,2021,43(03):363-370.
[3] 王晓红,李志信,李宝仁,等.微型静电电机及其关键技术[J].微电机,2019,52(09):56-61.
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